抗蚀渗氮通常在550~650℃于纯氨（分解率20%~70%)中进行2~6h，形成0.015~0.060mm致密而化学稳定的Ɛ相，对潮湿空气、自来水、热蒸汽、气体燃烧产物和弱碱溶液等具有较高的抗蚀能力，可代替镀镍、镀锌及法兰。
抗蚀渗氮对各种钢均可得到良好的效果。
1.纯氨渗氮
将氨气连续通入500~600℃的渗氮罐中，有一部分在工件及罐壁的触媒作用下分解，放出活性氮原子，被工件表面吸收并渗入内部，形成氮化层。入炉前，氨气应以硅胶、生石灰或氯化钙进行干燥，使水分小于0.2%。
氨分解率对工件表面吸收氮量有很大影响。分解率为20%~40％时，活性氮原子多，吸收量最多。分解率超过70％以后，介质中氢含量大为增加，阻碍工件表面对氮的吸收，使硬度下降，层深减小。
纯氨分解介质的活性氮浓度较高，易于形成0.02~0.04mm的脆性层，因而适用于氮化后还要精磨的工件，如机床主轴、发动机曲轴等。